一种半自动硅片抛光的制造方法

 公司资讯     |      2022-09-22 19:35:14

抛光机包括台钻、油底壳、样品架和水箱。 台钻一端装有电机,另一端装有钻头,钻机上装有托盘,底座上装有水箱。 有浆池,浆池上端设有与钻机连杆连接的下抛光片; 样品架上方设有上抛光片,上抛光片两侧对称设有一组带压簧螺母的调节装置。 压缩弹簧套有固定螺钉,通过固定螺钉与下抛光片连接。 样品架和下抛光片通过研磨片架连接在一起; 水箱底侧设有进水管,进水管上设有水泵通过出水管I与研磨架连接; 集浆槽底部设有出水口,出水口通过出水管Ⅱ与水箱相通。